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    日本 Filgen 自动等离子体镀膜机 OPC-EVO：先进工艺与广泛应用

    发布时间： 2025-09-17　　点击次数： 40次

    一、技术参数

    日本 Filgen 自动等离子体镀膜机 OPC-EVO 是一款高性能的真空镀膜设备，其技术参数如下：
    • 真空室尺寸：提供多种规格的真空室，以满足不同尺寸工件的镀膜需求。
    • 加热温度：最高加热温度可达 600°C，确保各种材料的均匀加热和沉积。
    • 真空泵抽速：高低真空泵抽速可调，确保镀膜过程中真空环境的稳定。
    • 膜厚控制精度：采用高精度膜厚控制仪，控制精度可达纳米级别。
    • 离子源类型：配备射频离子源（RF 离子源），具有无灯丝损耗、寿命长、离子密度高、工作气压范围宽等特点。

    二、应用场景

    （一）半导体领域

    OPC-EVO 在半导体制造中发挥着重要作用。通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术，可制备高质量的半导体薄膜，如 Si、Ge 等。这些薄膜在半导体芯片的制造中用于形成绝缘层、?；げ愫偷嫉绮悖繁Ｐ酒母咝阅芎涂煽啃?。

    （二）光学领域

    在光学领域，OPC-EVO 可用于制备光学薄膜，如 ITO 透明导电膜。这些薄膜广泛应用于光学镜片、显示器、太阳能电池等领域，用于提高光学性能和导电性能。

    （三）柔性电子领域

    柔性电子薄膜的制备也是 OPC-EVO 的重要应用之一。通过精确控制镀膜参数，可制备出具有良好柔韧性和导电性的薄膜，用于可穿戴设备、柔性显示器等新兴领域。

    （四）材料表面改性

    OPC-EVO 还可用于材料表面改性，如硬化和耐腐蚀处理。通过离子辅助沉积技术，可在材料表面形成一层高硬度、高耐腐蚀性的薄膜，延长材料的使用寿命。

    三、工艺流程

    （一）前处理

    在镀膜前，需要对工件进行严格的前处理，以确保镀层与基材的良好结合。前处理通常包括以下步骤：
    • 热浸脱脂：利用碱性溶液去除工件表面的油脂和氧化物。
    • 电解脱脂：通过电解作用进一步去除工件表面的污垢。
    • 活化：利用酸洗等方法去除工件表面的氧化物，使表面活化。

    （二）镀膜

    前处理完成后，将工件放入真空室中，通过射频离子源产生高密度等离子体，进行镀膜操作。在镀膜过程中，通过精确控制离子源参数、气体流量和真空度，确保镀层的均匀性和质量。

    （三）后处理

    镀膜完成后，需要对工件进行后处理，如干燥和检验。干燥过程中，确保工件表面的镀层固化。检验环节则对镀层的厚度、均匀性、结合力等进行检测，确保镀膜质量符合要求。
    日本 Filgen 自动等离子体镀膜机 OPC-EVO 凭借其先进的技术参数和广泛的工艺应用，已成为半导体、光学、柔性电子等领域的设备。其高精度的膜厚控制和稳定的真空环境，确保了高质量镀膜的实现，为现代科技的发展提供了有力支持。


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